Abstrakt

Glimmentladungs-Elektronenkanone

FW Abdel Salam, MM Abdel Rahman und BA Soliman

In der vorliegenden Arbeit haben wir die experimentellen Ergebnisse der Gleichstrom-Glimmentladungs-Elektronenquelle (DCEG) und ihre nachfolgenden Entwicklungen als Elektronenstrahlenergie unter 5 keV und Hochintensitätsstrahlen von einigen zehn Mikroampere für den Einsatz in einigen Anwendungen vorgestellt. Ein neuer Typ von Gleichstrom-Glimmentladungs-Elektronenquelle wurde entwickelt und für eine verbesserte Behandlung modifiziert, die Anwendungen mit niedriger Leistung und hoher Elektronenstromdichte ermöglicht. Diese Elektronenquelle arbeitet unter den Bedingungen einer anormalen Glimmentladung. Die besten Arbeitsbedingungen erwiesen sich bei einem Entladungsdruck im Bereich von 10-4 mbar, einem Abstand zwischen Kathode und Anode von 3 mm und einer Teflonisolatorscheibe von 5 mm Durchmesser sowie einem Abstand zwischen dem Kathodenausgang und dem Extraktor (Fokussierungselektrode) von 4 mm. Die internen und externen Betriebseigenschaften (Entladungs- und Ausgangsionenstrahlströme) wurden bei diesem optimalen Abstand unter Verwendung von Wasserstoff, Stickstoff und Luft untersucht. Schließlich wurde eine Glimmentladungs-Elektronenkanone als Vorbereitungswerkzeug für die Oberfläche des Polyethylenterephthalat-PET-Polymersubstrats verwendet, um es für die Beschichtung oder Dünnschichtabscheidung vorzubereiten. Das makellose PET ist transparent und seine Oberfläche ist glatt