Abstrakt

Untersuchungen zu strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften von aufgesprühten Manganoxid-Dünnschichten (MnO2)

Bhargande SK und Patil PS

Manganoxid-Dünnschichten wurden durch pyrolytische Zersetzung von Manganacetat als Vorläuferlösung auf Glassubstraten hergestellt. MnO2-Dünnschichten wurden bei drei verschiedenen Temperaturen, nämlich 200, 250 und 300 °C, abgeschieden. Die abgeschiedenen Schichten waren amorph und porös und 200–300 nm dick. Die Dünnschichten wurden anschließend 2 Stunden lang bei 500 °C an der Luft geglüht. Strukturelle, optische und elektrische Eigenschaften von MnO2 wurden untersucht. Polykristalline Dünnschichten mit kubischer Struktur, wie aus dem Röntgenbeugungsmuster hervorgeht. Die elektrischen Eigenschaften wurden mittels Messungen des elektrischen Widerstands und der thermoelektrischen (TEP) Leistung untersucht. Die Untersuchungen des elektrischen Widerstands wurden mit der Zweisondenmethode durchgeführt. Die TEP-Untersuchungen zeigen, dass die Schichten eine n-Typ-Leitfähigkeit aufweisen. Die optischen Absorptionsdaten wurden zur Bestimmung der (indirekten) Bandlückenenergie verwendet und es wurde festgestellt, dass sie mit steigender Temperatur zunimmt.