Abstrakt

Charakterisierung von mittels RF-Magnetronsputtern abgeschiedenen Mo-AlNxOy-Dünnschichten

Thyago Santos Braga, Marcos Massi, Argemiro Soares Silva Sobrinho, Fabio Dondeo Origo, Choyu Otani

Dünne Filme aus Mo-AlNxOy wurden durch RF-reaktives Magnetronsputtern auf Glas- und Siliziumsubstraten gezüchtet. Die Substratabscheidungstemperatur wurde variiert, um die Zusammensetzungsvariation, Kristallstruktur, Reflexion, Absorption und Bandlücke der Filme zu bewerten. Die Ergebnisse zeigten, dass die amorphsten Filme die höchste Absorption aufwiesen. Die Zunahme der Absorption und die Verringerung der Bandlücke sind auf die Kristallinität und die Molybdäneinfügung zurückzuführen. Diese Änderung trat aufgrund des unterschiedlichen Verhaltens von amorphen Materialien mit Bandlücke, der Zunahme der Elektronenakzeptoren/-donatoren und des durch die Molybdäneinfügung verursachten Plasmoneneffekts auf.