Abstrakt

Vergleich von Verfahren zur Untersuchung sequentieller Licht-, Rasterelektronen- und Atomkraftmuster für durch Elektronenstrahllithografie erzeugte Muster

Sheng Zhang, Tao Li, Gangqiang Zhang und Yuzhen Feng

Superelliptische Platten, die durch Formen zwischen einer Ellipse und einem Rechteck definiert sind, werden in der Technik häufig verwendet. Untersuchungen zum nichtlinearen Verhalten superelliptischer isotroper Platten sind in der Literatur verfügbar, während Untersuchungen zum nichtlinearen Verhalten von FGM-superelliptischen Platten derzeit nicht veröffentlicht wurden. In diesem Artikel werden erstmals nichtlineare Biege- und thermische Nachbeulanalysen für funktional abgestufte superelliptische Platten auf Grundlage der klassischen Plattentheorie vorgestellt. Es wird angenommen, dass die Materialeigenschaften temperaturabhängig und in Dickenrichtung abgestuft sind. Die numerischen Abbildungen betreffen das nichtlineare Verhalten funktional abgestufter Platten mit unbeweglichem, einfach gestütztem Rand und unbeweglichem, eingespanntem Rand. Einflüsse, die durch unterschiedliche gestützten Ränder, thermische Umgebungsbedingungen und Volumenanteilsindexe ausgeübt werden, werden anhand der Ritz-Methode ausführlich erörtert.