Abstrakt

Thermisches Effektverhalten von Materialien unter Rasterelektronenmikroskopie. Hybridmodell aus Monte Carlo und Molekulardynamik

Abdelkader Nouiri

Ein Rasterelektronenmikroskop (REM) bietet eine praktische Möglichkeit, Strukturinformationen im Mikro- und Nanomaßstab zu erhalten. Der Temperaturanstieg durch Elektronenbeschuss während der REM-Analyse ist jedoch ein Problem, da er die REM-Ergebnisse, insbesondere bei Nanostrukturen, verändern kann. Um den Temperaturanstieg während der REM-Analyse quantitativ zu verstehen, wurde ein Hybridmodell entwickelt, das Molekulardynamik mit der Monte-Carlo-Methode kombiniert. Der Einfluss einiger Parameter wie Beschleunigungsspannung, Primärstrom und Scandauer wird untersucht. Das resultierende Temperaturprofil innerhalb von Halbleitermaterialien und hypothetischen Apatitkörnern weist auf einen maximalen Temperaturanstieg nahe der Oberfläche hin, gefolgt von einem kontinuierlichen Temperaturabfall als Funktion der Tiefe von der Oberfläche.